Fundamental of micro/nano fabrication
V tejto knihe je opísaný proces tepelného rastu mokrých oxidov v závislosti od napätia. Rýchlosť oxidácie kremíka je funkciou orientácie kryštálov a uhla priesečníka rovín.
Opisujú sa procesy mikroobrábania povrchu kremíka s cieľom vytvoriť voľne stojacu mechanickú štruktúru a jedinečné trojrozmerné prvky. Počas mikrovýroby sa musí zohľadniť objemové mikroobrábanie a leptanie. Schematický a SEM mikrofotografický opis ako kov (hliník) naprašovaný na oxidovú pyramídovú konzolovú sondu na vytvorenie aj kovovej nanoapertúry.
Teoretický koncept blízkeho a vzdialeného poľa bol vysvetlený pomocou vyrobeného trojuholníkového a obdĺžnikového poľa NSOM konzol so sondou NSOM. S cieľom znížiť úroveň šumu a vysokú optickú priepustnosť cez sondu má navrhnutá NSOM konzolová sonda pod sondou objemový Si.
Na charakterizovanie hlavných komponentov pre konzoly sú optický prenos cez sondu NSOM a rezonančná frekvencia. Rezonančná frekvencia kantilov sa mení v závislosti od ich rozmerov.
Optický prenos sa meria cez apertúru sondy NSOM.