Výroba oblátok: Tvarovanie monokryštalických kremíkových plátov

Pôvodný názov:

Wafer Manufacturing: Shaping of Single Crystal Silicon Wafers

Obsah knihy:

Predstavuje všetky hlavné fázy výroby doštičiek, od kryštálov až po prvotné doštičky.

V tejto knihe sa najprv opisuje fyzika, súvisiaca metrológia, modelovanie procesov a požiadavky na kvalitu a potom sa rozoberajú techniky tvarovania a prípravy povrchu doštičiek. Celú knihu uzatvára kapitola o výskume a budúcich výzvach v oblasti výroby doštičiek.