Tenké filmy nitridu hliníka - depozícia na výrobu, charakterizácia a výroba zariadení s povrchovými akustickými vlnami

Recenzie čitateľov

Momentálne nie sú žiadne recenzie čitateľov. Hodnotenie je založené na 2 hlasoch.

Pôvodný názov:

Aluminum Nitride Thin Films - Deposition for Fabrication, Characterization and Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices

Obsah knihy:

Tenké vrstvy nitridu hliníka (AlN) sa môžu používať v mnohých zariadeniach, napríklad v zariadeniach s povrchovými akustickými vlnami (SAW), v aplikáciách mikroelektromechanických systémov (MEMS) a v baliacich aplikáciách. V tejto práci je AlN kritickou vrstvou v procese výroby.

Jednou z výziev je spoľahlivé nanášanie na substráty veľkosti doštičky. Metóda depozície, ktorá je predmetom záujmu, je pulzné rozprašovanie jednosmerným prúdom. Rovina (002) je požadovanou rovinou pre jej piezoelektrické vlastnosti.

Drsnosť povrchu naneseného AlN je nízka a dobre priľne k substrátu. Vrstva AlN bola nanesená na substrát UNCD/Si.

Na vrstvu AlN bol nanesený Al na vytvorenie IDT (medzidigitálnych prevodníkov) pre SAW zariadenia. SAW zariadenia boli vyrobené na kremennom - ST substráte. Na overenie fungovania SAW zariadení sa testovali pomocou sieťového analyzátora.

V tejto knihe sa rozoberajú tieto výsledky a parametre depozície AlN vrstvy, vlastnosti vrstvy a dôsledky pre zariadenia. Táto kniha by bola prínosom pre odborníkov, vedcov, inžinierov a absolventov vysokých škôl v oblasti vedy a techniky, ktorí pracujú v oblastiach polovodičov so širokým pásmom, nitridov a piezoelektrických materiálov a rôznych zariadení s akustickými vlnami.