Technológia výroby integrovaných obvodov III-V

Recenzie čitateľov

Momentálne nie sú žiadne recenzie čitateľov. Hodnotenie je založené na 2 hlasoch.

Pôvodný názov:

III-V Integrated Circuit Fabrication Technology

Obsah knihy:

Spracovanie GaAs dosiahlo vyspelé štádium.

Objavujú sa nové polovodičové zlúčeniny, ktoré budú v budúcnosti dominovať vo výskume materiálov a zariadení, hoci techniky spracovania GaAs budú stále relevantné. Táto kniha zahŕňa všetky aspekty súčasného stavu techniky spracovania III-V s dôrazom na HBT.

Je určená pre praktických inžinierov a postgraduálnych študentov a inžinierov, ktorí sa začínajú zaoberať spracovaním III-V polovodičových integrovaných obvodov. Hlavným cieľom knihy je rozobrať všetky aspekty spracovania aktívnych a pasívnych zariadení, od rastu kryštálov až po spracovanie zadnej strany, vrátane litografie, leptania a nanášania vrstiev.