Spracovanie atómovej vrstvy: Technológia suchého leptania polovodičov

Recenzie čitateľov

Momentálne nie sú žiadne recenzie čitateľov. Hodnotenie je založené na 2 hlasoch.

Pôvodný názov:

Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology

Obsah knihy:

S touto praktickou príručkou sa dozviete o základných a pokročilých témach leptania

Spracovanie atómových vrstiev: Príručka: Technológia suchého leptania polovodičov je praktickým a komplexným zdrojom informácií o technológiách leptania a ich aplikáciách. Významný vedec, manažér a autor ponúka čitateľom podrobné informácie o rôznych technológiách leptania používaných v polovodičovom priemysle vrátane tepelného leptania, izotropného leptania atómových vrstiev, radikálového leptania, leptania s asistenciou iónov a leptania reaktívnymi iónmi.

Kniha sa začína stručnou históriou technológie leptania a úlohou, ktorú zohrala v revolúcii informačných technológií, spolu so zbierkou bežne používanej terminológie v tomto odvetví. Potom sa venuje rôznym technikám leptania a na záver sa zaoberá základmi konštrukcie leptacích reaktorov a novými témami v tejto oblasti, napríklad úlohou, ktorú v tejto technológii zohráva umelá inteligencia.

Spracovanie atómových vrstiev zahŕňa aj širokú škálu ďalších tém, z ktorých všetky prispievajú k autorovmu cieľu poskytnúť čitateľovi pochopenie technológie suchého leptania na atómovej úrovni, ktoré je dostatočné na vývoj konkrétnych riešení pre existujúce a nové polovodičové technológie. Čitatelia budú mať prospech z:

⬤ Kompletná diskusia o základoch odstraňovania atómov z rôznych povrchov.

⬤ Preskúmanie nových technológií leptania vrátane leptania pomocou lasera a elektrónového lúča.

⬤ Postup pri riadení procesov v technológii leptania a úloha, ktorú zohráva umelá inteligencia.

⬤ Analýza širokej škály metód leptania vrátane tepelného leptania alebo leptania v pare, izotropného leptania atómových vrstiev, radikálového leptania, smerového leptania atómových vrstiev a ďalších.

Kniha Atomic Layer Processing je ideálna pre materiálových vedcov, polovodičových fyzikov a povrchových chemikov a získa si miesto aj v knižniciach technických vedcov v priemysle a na akademickej pôde, ako aj všetkých, ktorí sa zaoberajú výrobou polovodičových technológií. Úzka účasť autora na podnikovom výskume a vývoji a akademickom výskume umožňuje knihe ponúknuť jedinečný mnohostranný prístup k tejto téme.