Príručka polovodičovej kremíkovej technológie

Pôvodný názov:

Handbook of Semiconductor Silicon Technology

Obsah knihy:

Táto príručka predstavuje komplexný prehľad vedy, technológie a výroby polovodičových kremíkových materiálov. Podrobne sú v nej opísané všetky známe vlastnosti kremíka.

Súčasťou je kompletný súbor binárnych fázových diagramov. Podrobne sa rozoberajú aj praktické aspekty, ako je manipulácia s materiálmi, bezpečnosť, redukcia nečistôt a defektov. Odborníci z týchto oblastí sa zaoberajú základnými otázkami v oblasti prekurzorových zlúčenín kremíka, polykremičitých zlúčenín, rastu kryštálov kremíka, výroby doštičiek, epitaxného a CVD vylučovania.

Medzi zahrnuté vlastnosti materiálov patria elektrické, optické a mechanické vlastnosti, nečistoty na hlbokej úrovni a životnosť nosičov a termochémia, ako aj osobitné časti o nečistotách kyslíka, uhlíka a dusíka. Kniha obsahuje rozsiahly súbor odkazov, tabuľky konštánt materiálov a vlastností kremíka a prezentáciu súčasného stavu výroby materiálov.