Príručka o chemickom vylučovaní pár: Princípy, technológie a aplikácie

Recenzie čitateľov

Momentálne nie sú žiadne recenzie čitateľov. Hodnotenie je založené na 2 hlasoch.

Pôvodný názov:

Handbook of Chemical Vapor Deposition: Principles, Technology and Applications

Obsah knihy:

Príručka o chemickom vylučovaní z plynnej fázy: Princípy, technológie a aplikácie poskytuje informácie týkajúce sa základných aspektov chemického vylučovania z plynnej fázy. Táto kniha sa zaoberá aplikáciami chemického vylučovania z plynnej fázy, čo je relatívne flexibilná technológia, ktorá sa môže prispôsobiť mnohým variantom.

Táto kniha, usporiadaná do 12 kapitol, sa začína prehľadom teoretického skúmania procesu chemického vylučovania z plynnej fázy. V tomto texte sú potom opísané hlavné chemické reakcie a prehľad systémov a zariadení na chemické naparovanie používaných vo výskume a výrobe. Ďalšie kapitoly sa zaoberajú materiálmi, ktoré sa usadzujú chemickým naparovaním.

Táto kniha sa zaoberá aj možnými aplikáciami chemického naparovania v polovodičoch a elektronike. Záverečná kapitola sa zaoberá iónovou implantáciou ako hlavným procesom pri výrobe polovodičov.

Táto kniha je cenným zdrojom informácií pre vedcov, inžinierov a študentov. Užitočnú knihu nájdu aj manažéri výroby a marketingu a dodávatelia zariadení, materiálov a služieb.