Používateľská príručka k elipsometrii

Recenzie čitateľov

Kniha je medzi používateľmi vysoko cenená pre zrozumiteľný úvod do elipsometrie, ktorý poskytuje praktické poznatky a vedomosti užitočné najmä pre začiatočníkov. Obsahuje základné pojmy, rovnice a prípadové štúdie, čo z nej robí komplexnú príručku, hoci je obmedzená na merania jednej vlnovej dĺžky.

⬤ Vynikajúci úvod pre začiatočníkov v elipsometrii.
⬤ Jasné vysvetlenie základných pojmov a základných rovníc.
⬤ Praktický prístup k experimentálnym ťažkostiam.
⬤ Cenné prípadové štúdie na aplikáciu poznatkov.
⬤ Dobrá cena a rýchle dodanie.

⬤ Obmedzené na prístroje s jednou vlnovou dĺžkou a jedným uhlom.
⬤ Nezahŕňa spektroskopickú elipsometriu, ktorá je čoraz bežnejšia.

(na základe 7 čitateľských recenzií)

Pôvodný názov:

A User's Guide to Ellipsometry

Obsah knihy:

Tento text o optike pre absolventov vysokých škôl vysvetľuje, ako určiť vlastnosti a parametre materiálov pre neprístupné substráty a neznáme vrstvy, ako aj ako merať extrémne tenké vrstvy. Jeho 14 prípadových štúdií ilustruje koncepty a posilňuje aplikácie elipsometrie - najmä vo vzťahu k polovodičovému priemyslu a k štúdiám zahŕňajúcim koróziu a rast oxidov.

Príručka používateľa elipsometrie umožní čitateľom prekročiť rámec obmedzených aplikácií elipsometrov na kľúč. Okrem komplexných diskusií o meraní hrúbky vrstvy a optických konštánt vo vrstve sa v nej uvažuje aj o trajektóriách elipsometrických parametrov Del a Psi a o tom, ako zmeny materiálov ovplyvňujú parametre.

Tento zväzok sa zaoberá aj použitím polysilikónu, materiálu bežne používaného v mikroelektronickom priemysle, a vplyvom drsnosti substrátu. Tri prílohy poskytujú užitočné odkazy.