Nanofabrication: Nanolithography techniques and their applications
Komplexná publikácia o dôležitých a aktuálnych technikách a aplikáciách nanolitografie. Kniha obsahuje úvod o význame nanolitografie v súčasnom výskume a technológiách a uvádza príklady jej aplikácií.
Zvyšok knihy je rozdelený do dvoch častí. Prvá časť obsahuje najdôležitejšie a najznámejšie techniky nanolitografie. Okrem podrobného opisu každej techniky môže čitateľ získať užitočné informácie o hlavných výhodách a nevýhodách každej techniky z hľadiska rozlíšenia, priepustnosti, počtu potrebných krokov a nákladov atď. Na konci tejto časti sa čitateľ bude môcť rozhodnúť, ktorú techniku použiť na rôzne aplikácie.
V druhej časti sa skúmajú konkrétnejšie aplikácie predtým opísaných techník nanolitografie, ako aj nové techniky a aplikácie. V niektorých prípadoch procesy opísané v týchto kapitolách zahŕňajú kombináciu viacerých techník nanolitografie. Táto časť je menej všeobecná, ale poskytuje čitateľovi reálne príklady.
Kľúčové vlastnosti
⬤ Vhodná najmä pre študentov magisterského/doktorandského štúdia, ktorí potrebujú základné poznatky o technikách nanolitografie a o tom, ako/kde ich možno použiť.
⬤ Obsahuje najnovšie informácie s aktualizovanými odkazmi pre výskumníkov a inžinierov, ktorí si potrebujú rozšíriť alebo aktualizovať svoje vedomosti o nanofabrikácii.
⬤ Všetky kapitoly napísali poprední svetoví odborníci v príslušných oblastiach výskumu.
⬤ Sleduje pedagogický prístup; od každej kapitoly sa očakáva, že bude obsahovať praktické príklady, prípadové štúdie a zhrnutie na konci kapitoly.
⬤ Zahŕňa interaktívne prvky, ako sú videoanimácie.