Metrológia polovodičového napätia: Princípy a aplikácie

Pôvodný názov:

Semiconductor Strain Metrology: Principles and Applications

Obsah knihy:

Táto kniha obsahuje prehľad hlavných a novo vyvinutých techník pre metrológiu deformácií polovodičov.

Polovodičová tenzometria sa v posledných rokoch stala predmetom veľkého záujmu výskumníkov zaoberajúcich sa charakterizáciou tenkých vrstiev a zariadení v nanorozmeroch. Táto kniha využíva výučbový prístup na vysvetlenie princípov a aplikácií jednotlivých techník špeciálne prispôsobených pre postgraduálnych študentov a postdoktorandov.

Vybrané témy zahŕňajú optické, elektrónové, iónové a synchrotrónové röntgenové techniky. Na rozdiel od predchádzajúcich publikácií sa v tejto knihe osobitne a do hĺbky rozoberá metrológia deformácií aplikovaná na polovodičové zariadenia.