Litografia: Veda o mikrofabrikácii a nanofabrikácii

Pôvodný názov:

Lithography: The Science of Microfabrication and Nanofabrication

Obsah knihy:

Litografia sa vzťahuje na planografickú techniku tlače, ktorá bola predtým založená na nemiešateľnosti vody a oleja. Tlač sa vykonáva na kamennú alebo kovovú dosku s hladkým povrchom.

Vzhľadom na požiadavku vysoko funkčných miniaturizovaných systémov v rôznych oblastiach boli techniky litografie vyvinuté a implementované na zamýšľané ciele v mnohých oblastiach. Patrí medzi ne biomedicínsky výskum, vývoj polovodičov a chemická a biologická analýza. Litografia zohráva dôležitú úlohu v technikách nano a mikrofabrikácie.

Mikrofabrikácia je technika výroby mikroskopických štruktúr na mikrometrovej a menšej škále. Nanofabrikácia sa vzťahuje na techniku využívanú na vytváranie jednorozmerných, dvojrozmerných alebo trojrozmerných nanoštruktúr v rozsahu veľkosti 1 - 100 nanometrov.

Mikrofabrikácia a nanofabrikácia sú rozhodujúce pre rast miniaturizovaných systémov. Táto kniha objasňuje koncepcie a inovatívne modely týkajúce sa perspektívneho vývoja v súvislosti s litografiou a jej aplikáciou v mikrofabrikácii a nanofabrikácii.

Pomôže čitateľom udržať krok s rýchlymi zmenami v tejto oblasti štúdia.