Quantitative Data Processing in Scanning Probe Microscopy: Spm Applications for Nanometrology
Presné meranie v nanorozmeroch - nanometrológia - je rozhodujúcim nástrojom pre pokročilé nanotechnologické aplikácie, kde presné veličiny a inžinierska presnosť presahujú možnosti tradičných meracích techník a prístrojov.
Mikroskopia so skenovacou sondou (Scanning Probe Microscopy - SPM) vytvára obraz vzorky skenovaním pomocou fyzikálnej sondy; rozlíšenie dosiahnuteľné touto technikou nie je obmedzené vlnovou dĺžkou svetla alebo elektrónov a umožňuje rozlíšiť atómy. Medzi prístroje SPM patria mikroskop atómových síl (AFM) a skenovací tunelový mikroskop (STM).
Napriek obrovskému pokroku v mikroskopii so skenovacou sondou (SPM) za posledných dvadsať rokov sa jej potenciál ako kvantitatívneho meracieho nástroja plne nevyužil kvôli problémom, ako je napríklad zložitosť interakcie hrotu so vzorkou. V tejto knihe Petr Klapetek využíva najnovšie výskumy na odhalenie SPM ako súboru nástrojov pre nanometrológiu v takých rozmanitých oblastiach, ako sú nanotechnológie, fyzika povrchov, materiálové inžinierstvo, optika tenkých vrstiev a vedy o živote. Klapetkove značné skúsenosti s kvantitatívnym spracovaním údajov pomocou softvérových nástrojov mu umožňujú nielen vysvetliť mikroskopické techniky, ale aj demystifikovať analýzu a interpretáciu získaných údajov.
Okrem základných princípov a teórie SPM metrológie poskytuje Klapetek čitateľom množstvo pracovných príkladov, na ktorých demonštruje typické spôsoby riešenia problémov pri SPM analýze. Zdrojové údaje pre príklady, ako aj väčšina opísaných softvérových nástrojov s otvoreným zdrojovým kódom sú k dispozícii na sprievodnej webovej stránke.