Dynamika mikrosystémov

Pôvodný názov:

Microsystems Dynamics

Obsah knihy:

Predslov; Predslov; Úvod do mikrosystémov; Technológie výroby mikrosystémov; Prehľad; Technológia obrábania niklového povrchu na výrobu mikrospínačov; UV litografia na výrobu mikromotorov; Bežné MEMS aktuátory; Paralelné kondenzátory; Hrebienkové pohony; Elektrostatické mikromotory; Elektrostatické mikrospínače; Teoretické pozadie multifyzikálnych interakcií bežných v mikrosystémoch; Úvod do modelovania spojeného poľa; Elektrostatické ovládanie a nestabilita pri ťahu; Viskózne tlmenie vzduchom; Vibroimpaktné interakcie; Experimentálne testovanie dynamiky mikrosystémov; Metódy budenia vibrácií; Optické techniky na meranie vibrácií mikroštruktúr; Štúdium elastických vibroimpaktných makrosystémov a mikrosystémov; Prehľad nových dôležitých efektov nelineárnej dynamiky vo vibroimpaktných; makrosystémoch;; Analýza dynamiky spojeného poľa v elektrostatickom mikroaktuátore kontaktného typu; Numerické modelovanie a analýza interakcie kvapaliny a štruktúry; Numerické modelovanie a analýza interakcie elektrostatiky a štruktúry; Numerické modelovanie a analýza vibračno-nárazovej interakcie; Numerická analýza mikromotora; Modelovanie mikromotora metódou konečných prvkov; Modálna analýza; Riadenie mikromotora; Analytický model mikromotora; Základy geometrie mikromotora; Analýza krútiaceho momentu; Usmernenia pre návrh mikromotora; Referencie.