Chemistry of Atomic Layer Deposition
Táto kniha pomôže chemikom aj nechemikom pochopiť základy povrchovej chémie a konštrukcie prekurzorov, ako tieto prekurzory riadia procesy depozície atómových vrstiev a ako interakcia povrchu a prekurzora riadi procesy depozície atómových vrstiev.
Základné princípy depozície atómových vrstiev sa opierajú o chemickú interakciu prekurzora s povrchom.